Next generation image sensor via direct hybrid bonding
L. Benaissa
(1)
,
L. Di Cioccio
(1)
,
Y. Beilliard
(2)
,
P. Coudrain
(3)
,
S. Dominguez
,
V. Balan
(1)
,
T. Enot
(1)
,
B. Imbert
(1)
,
L. Millet
,
S. Chevobbe
(4)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
3 STMicroelectronics
4 LIST (CEA) - Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies
2 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
3 STMicroelectronics
4 LIST (CEA) - Laboratoire d'Intégration des Systèmes et des Technologies