Highly selective optical filtering technology on 300 mm glass wafer for advanced spectroscopy applications - CEA - Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives
Poster De Conférence Année : 2022

Highly selective optical filtering technology on 300 mm glass wafer for advanced spectroscopy applications

Résumé

This paper presents the fabrication and measurements of optical rejection filters, made of dielectric nanogratings developed on 300 mm glass wafer using CMOS process. Their suitability for integrated VIS-NIR spectroscopy applications is assessed.

Domaines

Optique / photonique Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Soumis le : lundi 9 décembre 2024-22:01:20

Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:15:54

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Dates et versions

cea-04828187 , version 1 (09-12-2024)

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Citer

Sandrine Villenave, Stéphane Monfray, Quentin Abadie, Stéphanie Audran, Simon Guillaumet, et al.. Highly selective optical filtering technology on 300 mm glass wafer for advanced spectroscopy applications. CLEO: Science and Innovations, May 2022, San Jose, United States. 2022, ⟨10.1364/CLEO_AT.2022.JW3A.41⟩. ⟨cea-04828187⟩

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