28nm FDSOI CMOS Technology (FEOL and BEOL) Thermal Stability for 3D Sequential Integration: Yield and Reliability Analysis
C. Cavalcante
,
C. Fenouillet-Beranger
,
P. Batude
,
X. Garros
,
X. Federspiel
,
J. Lacord
,
S. Kerdiles
,
A. Royet
,
P. Acosta-Alba
,
O. Rozeau
,
V. Barral
,
F. Arnaud
,
N. Planes
,
P. Sassoulas
,
E. Ghegin
,
R. Beneyton
,
M. Gregoire
,
O. Weber
,
C. Guerin
,
L. Arnaud
,
S. Moreau
(1)
,
R. Kies
,
G. Romano
,
N. Rambal
,
A. Magalhaes
,
G. Ghibaudo
,
J. Colinge
,
M. Vinet
,
F. Andrieu
C. Cavalcante
- Fonction : Auteur
C. Fenouillet-Beranger
- Fonction : Auteur
P. Batude
- Fonction : Auteur
X. Garros
- Fonction : Auteur
X. Federspiel
- Fonction : Auteur
J. Lacord
- Fonction : Auteur
S. Kerdiles
- Fonction : Auteur
A. Royet
- Fonction : Auteur
P. Acosta-Alba
- Fonction : Auteur
O. Rozeau
- Fonction : Auteur
V. Barral
- Fonction : Auteur
F. Arnaud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7085
- IdHAL : fanny-arnaud
- ORCID : 0000-0002-8784-1384
- IdRef : 178365378
N. Planes
- Fonction : Auteur
P. Sassoulas
- Fonction : Auteur
E. Ghegin
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R. Beneyton
- Fonction : Auteur
M. Gregoire
- Fonction : Auteur
O. Weber
- Fonction : Auteur
C. Guerin
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L. Arnaud
- Fonction : Auteur
R. Kies
- Fonction : Auteur
G. Romano
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N. Rambal
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A. Magalhaes
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G. Ghibaudo
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J. Colinge
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M. Vinet
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F. Andrieu
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