Semiconductor structure including a suspended membrane containing a central segment of structured thickness - CEA - Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2020
Fichier non déposé

Dates et versions

cea-03096058 , version 1 (04-01-2021)

Identifiants

  • HAL Id : cea-03096058 , version 1

Citer

Vincent Reboud, Alban Gassenq, S. Tardif, Vincent Calvo, Alexei Tchelnokov. Semiconductor structure including a suspended membrane containing a central segment of structured thickness. United States, Patent n° : US10666019B2. 2020. ⟨cea-03096058⟩
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