Stacked-Wires FETs for advanced CMOS scaling - CEA - Commissariat à l’énergie atomique et aux énergies alternatives

Documentation
French (FR)

English (EN)

Conference Papers Year : 2017

Stacked-Wires FETs for advanced CMOS scaling

(1) , (1) , (2) , (1) , (1) , (1) , (1) , (1) , (2) , (1) , (1) , (1) , (1)

1
2

S. Barraud

Function : Correspondent author
PersonId : 1041317

Connectez-vous pour contacter l'auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

V. Lapras

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

M. Samson

Function : Author

STMicroelectronics [Crolles]

B. Previtali

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

J M Hartmann

Function : Author
PersonId : 793700
ORCID : 0000-0001-7006-8586

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

N. Rambal

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

C Vizioz

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

V. Loup

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

C. Comboroure

Function : Author

STMicroelectronics [Crolles]

F. Triozon

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

N. Bernier

Function : Author
PersonId : 946715

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

D. Cooper

Function : Author

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

M. Vinet

Function : Author
PersonId : 756257
ORCID : 0000-0001-6757-295X

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Abstract

We present recent progress on vertically stacked-wires MOSFETs with a replacement metal gate process for CMOS scaling beyond FinFET technology. Key technological challenges (such as 3D integration process including inner spacer, mobility, and strain engineering) will be discussed in relation to recent research results.

Domains

Engineering Sciences [physics]

Fichier principal

Vignette du fichier

7-Barraud_SSDM2017.pdf (674.24 Ko)

Origin	Files produced by the author(s)

SYLVAIN BARRAUD : Connect in order to contact the contributor

https://cea.hal.science/cea-01973414

Submitted on : Tuesday, January 8, 2019-12:05:55 PM

Last modification on : Tuesday, September 3, 2024-11:16:05 AM

Long-term archiving on: Tuesday, April 9, 2019-4:10:02 PM

Dates and versions

cea-01973414 , version 1 (08-01-2019)

Identifiers

HAL Id : cea-01973414 , version 1

Cite

S. Barraud, V. Lapras, M. Samson, B. Previtali, J M Hartmann, et al.. Stacked-Wires FETs for advanced CMOS scaling. 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), Sep 2017, Sendaï, Japan. ⟨cea-01973414⟩

Export

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA DRT LETI CEA-GRE

183 View

289 Download

Share