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Liquid immersion lithography at 193 nm using a high-NA achromatic interferometer
Anne-Laure Charley
,
Alexandre Lagrange
,
Olivier Lartigue
,
Philippe Bandelier
,
Marianne Derouard
,
et al.
Conference papers
hal-00080602v1
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Hyper high NA achromatic interferometer for immersion lithography at 193nm
Anne-Laure Charley
,
Alexandre Lagrange
,
Olivier Lartigue
,
Julia Simon
,
Philippe Thony
,
et al.
Journal articles
hal-00137871v1
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193nm immersion lithography studies with a double grating high NA achromatic interferometer
Anne-Laure Charley
,
Philippe Bandelier
,
Bénédicte Mortini
,
Alexandre Lagrange
,
Olivier Lartigue
,
et al.
2005, pp.1111
Conference papers
hal-00137882v1
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ADViCe : Allocation Dynamique des Voies de Circulation. Préconisations préliminaires sur la mise en oeuvre d'un système ADViCe, Livrable finale de la tâche 4
Nicolas Chiabaut
,
Xiaoyan Xie
,
Ludovic Leclercq
,
Claude Leiser
,
Florian Bonet
,
et al.
[Rapport de recherche] IFSTTAR - Institut Français des Sciences et Technologies des Transports, de l'Aménagement et des Réseaux. 2014, 49 p
Reports
hal-01308395v1
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Dimensioning a full color LED microdisplay for augmented reality headset in a very bright environment
Etienne Quesnel
,
Alexandre Lagrange
,
Margaux Vigier
,
Marianne Consonni
,
Myriam Tournaire
,
et al.
Journal articles
cea-02949161v1
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